第626章 難道沒有國外的技術,我們就造不出EUV光刻機嗎?

“又卡殼了？”

陳延森看完林南的匯報郵件，眉心微蹙。

他沒想到，自己都已經把大門踹開，為他們鋪好了路，這幫人卻還是沒能力往前再走一步。

當前的難點有兩方面：

第一，中繼鏡組中的非球面反射鏡，需要將面形精度控制在50皮米以下，表面粗糙度得低于0.1納米的均方根誤差。

換句話說，這相當于要求一塊徽安省大小的區域，整體起伏不能超過一張A4紙的厚度。

難度可想而知！

目前，全球僅有燈塔國的賽高、德國的蔡司具備相應水準的鏡面拋光工藝。

可受到瓦森納協定的限制，即便花錢買，也拿不到供貨名額。

而哈工大、國防科大和華科協會長春光機所，盡管擁有離子束拋光與磁流變拋光技術，理論上能實現原子級的面形精度，但現實與理論往往存在巨大落差。

這就好比問，國內能造出F1賽車的發動機嗎？

按理說，華國不缺能生產金屬活塞和氣缸的工廠，也清楚內燃機的制造原理。

但F1賽車發動機并非單一部件的簡單組合，它是材料學、精密加工、熱力學、電子控制系統等頂尖技術的集成體，且對轉速、熱效率和可靠性的參數標準達到了行業極致。

由此可見，技術原理懂了，要落地到穩定的實際生產中，仍有難以逾越的鴻溝。

明白是一回事，造出來又是另一回事。

第二，鏡子打磨完成后，還得在表面鍍上40到60對的鉬、硅交替薄膜層，且每層厚度的誤差都需控制在原子級別。

鍍膜環節所需的磁控濺射技術，國內雖有不少研究所已掌握，但在均勻度和精細度上，仍然不符合EUV光刻機的使用需求。

此外，如何精準檢測鏡面光滑度也是個難題。

沒有測量，就沒有加工！

檢測能力決定了拋光水平的天花板。

2014年華國在高精度干涉儀領域，特別是用于EUV波段的檢測設備和技術，根本達不到50皮米的測量精度。

而林南和汪象朝等上百位研發工程師，已是光學賽道的佼佼者，連他們都搞不定的事，再找其他人，大概率也無濟于事。

他們盡力了，只是能力有限。

陳延森心里清楚，他要是不出手，這場科研大會戰多半要成為一個笑話。

他略一思索，便讓林南先把離子束拋光、磁流變拋光和磁控濺射的技術文檔發過來。

與此同時。

滬城，星源科技光學研發中心。

林南倚在實驗臺前，雙眼滿是紅血絲，神色黯淡。

汪象朝坐在一旁，拍了拍林南的肩膀說道：“別著急，車到山前必有路，慢慢啃唄，既然方案都有了，還怕搞不定工藝問題？”

滬城光機所的一名專家點頭附和道：“以前我們不需要皮米級別的拋光精度，所以技術進展就慢，現在不一樣了，只要搞定照明系統的非球面反射鏡，這EUV光刻機的光學系統，就等于拿下了一半的核心技術。”

話雖如此，實驗室里的氣氛卻沒怎么緩和。

林南苦笑一聲，指著桌上的檢測報告：“道理都懂，可現實擺在這里，我們的儀器測試精度僅有亞納米水準，面形精度夠不夠，壓根不知道。”

這無異于閉著眼睛走路，方向對不對都不確定，怎么提升？

燕京光電所的年輕工程師語氣哽咽，一臉絕望地小聲呢喃道：“難道沒有國外的技術支持，我們就造不出EUV光刻機的核心部件嗎？”

這話就像一根鋼針，把所有人的信心都給戳破了。

“放屁！人家花了幾十年積累的技術，我們才用了幾天？這點耐心都沒有嗎？”

汪象朝猛地站起身，大聲反駁道：“一個月時間，我們就把照明系統的方案推演出來了，這說明思路是對的。

我已經和長春、燕京光機所的人溝通好了，接下來大家齊頭并進：咱們先攻堅投影物鏡系統，等拋光和鍍膜技術達標后，再整合各項技術，總能把這塊硬骨頭啃下來。”

他的話像一劑強心針，讓實驗室里低迷的氣氛稍稍回暖。

林南深吸一口氣，跟著站起來說道：“汪老說得對，咱們先按照分工，集中精力攻投影物鏡系統的光路設計。”

滬城光機所的專家立刻拿出圖紙，指著上面復雜的光路結構：“投影物鏡得把照明系統過來的光束精準聚焦到晶圓上，而且要消除各種像差，這對鏡片的曲率精度要求比反射鏡還高。

我們之前設計的光路，在模擬環境中還存在0.5弧秒的像差偏差，得再優化。”

汪象朝湊到圖紙前補充道：“我查過資料，蔡司的投影物鏡用了15片高精度鏡片，每片的面形誤差都控制在20皮米以內。

我們要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下，后續工藝跟上，說不定就能趕上他們的水平。”

幾人越聊越投入，當即圍著圖紙和電腦忙碌了起來。

汪象朝負責調整光路模擬參數，林南則帶領幾人核算鏡片曲率與像差的對應關系，剩下的研發人員也連忙壓下此前的負面情緒，將精力快速投入到各自的工作中。

次日一早，陳延森給陶靜文打去電話，借助孟遠志的關系，拿到了一張廬州科大的通行證，可自由進出光電實驗室。

鏡面拋光和鍍膜工藝，都得在實驗中不斷完善，才能找到優化方向。

光靠理論推算，是得不出結果的。

同一時間，林南也抽調了一批擅長超精密拋光技術的研發人員，派往廬州。

當劉峰俊等人進入廬州科大的光電實驗室時，剛好看見正在更換潔凈服、佩戴無塵乳膠手套和無塵口罩的陳延森。

他不是森聯資本的創始人嗎？

為什么會在實驗室里？

“劉先生，幸會！”陳延森停下手中的動作，徑直朝劉峰俊走去，隨即伸出右手說道。

“陳先生，您好。”劉峰俊雖然有一肚子的疑問，但他也不好直接發問。

他是國防科大超精密加工團隊的高階研究員，博士學歷，智力不俗。

有這樣的素養，就注定他不會說出低情商的話。

“實驗室剛調試完離子束拋光機，正好你們來了，一起看看參數。”

陳延森收回右手，指向旁邊的操作屏，上面跳動著密密麻麻的數據流，隨后接著說道：“你們在滬城制作的鏡面粗胚我看過了，硅基材質純度夠，初始面形誤差還有3納米，得先過磁流變拋光做預處理。”

劉峰俊瞳孔微縮，心中巨震。

他下意識走到操作屏前，目光落在磁流變拋光的預處理參數上。

令他頓感驚訝的是，屏幕上不僅清晰列出了不同轉速下研磨液的顆粒度配比、磁場強度梯度曲線，甚至還標注了“預處理后誤差需控制在500皮米內”的明確節點。

“陳先生，您提前算過硅基材料的應力釋放曲線？”

劉峰俊忍不住地追問道。

要知道，硅基鏡面在研磨過程中會因應力積累產生微小形變，這是超精密加工領域最棘手的難題，也是國內各大高校、研究所遲遲未能突破的技術障礙。

如今，竟在這里見到了解決方案。

他在該領域浸淫多年，正因為他懂，才知道這組參數背后藏著多少巧思。

陳延森微微頷首：“硅基材料的應力釋放有滯后性，預處理時得留0.3的補償量，不然拋光后冷卻會出現回彈誤差，先做事，有疑問隨時問我。”

“小王，按這個參數調磁流變拋光機，先測第一塊粗胚的應力分布。”

劉峰俊轉頭對身后的研究員吩咐，聲音里帶著難掩的急切。

陳延森沒再多說，轉身走向另一臺設備。

接下來的一段日子，劉峰俊跟在陳延森屁股后面打轉，完全是一副學生、助手兼跟班的姿態。

他越深入了解，越能體會到陳延森在超精密加工領域的驚人天賦。

曾幾何時，劉峰俊也是高考狀元，還考進了國防科大的少年班，在同齡人中屬于科研天才，但在陳延森面前，卻猶如蚍蜉望青天一般。

陳延森每天只會在廬州科大待兩個小時，大部分工作由劉峰俊等人承擔。

他們先開發了子孔徑拼接技術，繼而引入計算全息片技術，并通過配備原子力顯微鏡和光學散射儀，率先把檢測精度提升到了皮米級別。

消息一出，滬城光學部的研發中心，所有人的精神瞬間為之一振。

畢竟有了測試工具，工藝改良就有了正確的方向可循。

另一邊。

清華、華科協會儀器研制中心和北方微電子科技，在獲得最新版的磁控濺射技術后，立即開始了靶材和鍍膜設備的研發工作。

然而，首個難關就卡在了鉬硅材料的純度與微觀結構的均勻性上。

陳延森在得知后，把真空熱壓燒結和等離子體致密化技術結合在一起，立馬就打通了靶材純度和結構上的擁堵點。

瓶頸一破，后續研發便如打通了任督二脈。

照明系統的研發進度突飛猛進！